技術(shù)特點(diǎn)
晶圓點(diǎn)膠機,伺服絲桿,龍門(mén)結構,雙Y、雙X軸,運行穩定;搭載自研壓電式噴射閥,大視野視覺(jué)相機,點(diǎn)膠精度高
機械手搬運機構,采用上銀4軸微小型機器人進(jìn)行搬運
機械手自動(dòng)把點(diǎn)好膠的晶圓搬運到真空烘烤機中,自動(dòng)關(guān)閉艙門(mén)在真空環(huán)境中利用光照烘烤固化